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德国工程师: 若不是借助中国这项技术, EUV光刻机就是一个废铁

2020-11-27 45 11/27

台积电作为世界上芯片工艺最发达的一个代工厂,目前在芯片制造领域,它的地位是最高的,像华为Mate 40和A14这种5nm级别的芯片,都是由台积电代工完成的,不过无论是台积电还是高通,在生产芯片的过程中,光刻机是必不可少的一个设备。

中国目前在芯片领域遭遇困境,很大一部分原因是制造不出光刻机,光刻机的零件来自世界各地,无论是组装还是调试,中国目前的工艺还是比较落后的,但在世界顶尖光刻机的制造过程中,中国也并不是毫无参与,德国一个工程师研究光刻机之后发现,如果不是中国的这项技术,ASML是不可能造出光刻机的,就算造出来了也只是一个废铁。

中国虽然在光刻机领域比较落后,但是一些中低端的光刻机,我们还是有能力制造出来的,只是在工艺等级上达不到ASML公司EUV光刻机那么高,EUV光刻机的制造过程十分复杂,光是零件都有10万多个,而且还来自世界各地。

仅凭一个国家的力量就想生产出光刻机,这个任务就算交给美国人,他们也是很难做到的,因为这不符合经济原理,世界顶端的光刻机采用的零件,其实也有我们中国人的技术,在光刻机的所有精密零件中,有一个叫做MEMS的零件,它就是来自中国的一家企业。

这家企业的名字叫做福晶科技,这家公司生产的MEMS零件在光刻机中是一个非常重要的组成部分,这个零件的加工精度要精确到纳米级,因为难度太大,全世界目前除了中国,没有几个国家能够生产得出这样的零件,因此ASML也非常依赖于中国的这项技术,没有MEMS,光刻机的品质好不到哪里去。

出于大局利益的考虑,尽管ASML公司不能给中国提供EUV光刻机,但中国依然会就继续给ASML公司提供MEMS技术支持,这是一个一损俱损的局,就算中国拿这项技术和ASML谈判,最终的结果也不会好到哪里去,为了利益,我们也只能选择让步了。

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