据日经中文网1月5日消息, 日本佳能将于2021年3月发售新型光刻机“FPA-3030i5a”,该设备使用波长为365纳米的“i线”光源,支持直径从2英寸(约5厘米)到8英寸(约20厘米)的小型基板。与以往机型相比,生产效率提高约17%。
除了目前主流的硅晶圆之外,新机型还可以提高小型晶圆较多的化合物半导体的生产效率。包括功率器件耐压性等出色的碳化硅(SiC),以及作为5G相关半导体材料而受到期待的氮化镓(GaN)等。随着纯电动汽车和物联网的普及,高性能半导体的需求有望增加。
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